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    什么是净房

    ISO 14644中定义
    空气悬浮粒子浓度受控的房间、房间的建设和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留粒子,室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制;

    分 类

    按布局分类
    单区大空间式:适用于制造业、测试、安装;
    隧 道 式 :适用于半导体前线;
    超洁净微净房: 适用于高级别区域。


    按功能分类
    工业用洁净室(工业,ICR):如半导体、电子机器、精密机械、精致涂装、光学、印刷、计器等

    工 业 用 洁 净 室

    分类

    区分

    对应

    内容



    IC.LSI制作
    结晶精制、扩散、蚀刻、对准、表面处理、金属附着、研磨、组装、检查、半成品保管、包装。
    超精密加工、防止尘埃附着,防止霉菌的产生,以提升及确保产品的质量。



    电子计算器
    磁鼓、磁带。
    加工、组装、防止尘埃附着,防止霉菌的产生,以提升及确保产品的质量。
    电子机器
    光导映像管、布朗管、印刷板、小型继电器。
     
    电器计测器
    精密电器计器。
     





    航空.宇宙产业
    人工卫生、回转仪
    防止尘埃、菌、霉引起的事故。防止地球宇宙相互间污染
    精密机器
    微行轴承、普通轴承、高可靠度零件、装置。
    防止因尘埃混入附着造成的质量劣化。
    光学机器
    镜片研磨、医学用照相机、胶卷制造、微缩片、显像、干燥。
     
    精密机械
    测定、控制用机器制造。
    防止尘埃、菌、霉,以确保及提升质量。
    控制检查
    环境控制、实验室、研究室
    防止发生事故。(产品检查开发)
    印刷
    超精密印刷
    防止尘埃、菌、霉,以确保及提升质量。

    生物用洁净室(化学,食物,医疗,实验室等):除ICR的要求外,以过滤或杀菌方式对生物粒子也加以控制的空间。如医学、药物、食品及生物实验等。

    分类

    区分

    对应

    内容







    制药工业 非无菌药品 固体制剂、口服液等
    无菌药品 水针、冻干粉针,非经肠道制剂等
    食品工业 饮料水、乳制品等装填室食用肉品、火腿包装室  
    医疗设施 无菌手术室A级 人工关节手术、内脏器官移植手术(心、肾、肝等脏器)、脑神经手术、眼科手术(眼角膜移植)、剖腹生产手术
    一般手术室D级 泌尿科手术、妇产科手术、胸部外科手术、整形外科手术
    感染手术室D级 胸部外科、感染患者手术(梅毒、肝炎….)







    Ⅰ级对人体及公众危险较低 基础 枯草杆菌、大肠埃希氏杆菌
    Ⅱ级对人体有轻度危险,对公众的危险有限 基础 伤寒沙门氏菌、乙型肝炎病毒、结核分枝杆菌、淋巴细胞性脉络丛脑膜炎病毒
    Ⅲ级对人体有较高危险,对公众的危险较低 密闭 布鲁氏菌属、拉沙热病毒、荚膜组织胞浆菌
    Ⅳ级对人体及公众均有较高危险 高度密闭 埃波拉-玛堡病毒、口蹄疫病毒


    按洁净等级分类(0.5µm)
    •Class 1 • Class 10 • Class 100
    •Class 1K • Class 10K • Class 100K

    按空气流分类
    •层流型


    •乱流型


    •水平流

    FS-209E 与ISO 14644-1标准的区别

    类别

    FS-209E

    ISO14644-1

    等级划分

    强调按其洁净度等级表中所列的标准等级,亦列出等级公式

    强调按等级公式

    等级依据公式

    Cm=(0.5/D)2.2×10M

    粒子数/ft3=Nc*(0.5/D)2.2(英制)

    Cm—某等级下,≥D的悬浮粒子最大浓度限值Pc/m3

    D—被考虑粒径um

    M—洁净度等级序数

    Nc—英制单位的洁净度等级

    Cm=(0.1/D)2.08×10N

    Cn—同上Cm

    D—同上

    N同上M

    等级数

    M1—M7

    ISO1—ISO9级

    测试时洁净室状态

    未作规定

    1种或更多状态

    测试的粒径范围要求

    1个或更多

    1个或更多,其粒径至少应为下一个较小粒径的1.5倍

    最小取样体积

    2.83L

    2L

    取样点数

    非单向流:A×64/(10M)0.5

    单向流:A/2.32,A×64/(10M)0.5中取较小者

     

    取样次数

    1次或更多

    1次,若仅为一点时则取样3次

    超微粒子

    ≤0.02um

    <0.1um

    大粒子

    未作规定

    >5um

    等动力取样

    包括

    未包括

     
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